
விளக்கம்
CZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர் செமிகண்டக்டர் சாதனங்களை உருவாக்க எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் பெரிய உருளை இங்காட்களின் சிலிக்கான் படிக வளர்ச்சிக்கு மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் Czochralski CZ வளர்ச்சி முறையால் இழுக்கப்பட்ட ஒற்றை கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் இங்காட்டில் இருந்து வெட்டப்பட்டது.இந்த செயல்பாட்டில், துல்லியமான நோக்குநிலை சகிப்புத்தன்மை கொண்ட படிக சிலிக்கானின் மெலிதான விதை சிலிக்கானின் உருகிய குளியலறையில் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, அதன் வெப்பநிலை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.விதை படிகமானது மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட விகிதத்தில் உருகுவதில் இருந்து மெதுவாக மேல்நோக்கி இழுக்கப்படுகிறது, ஒரு திரவ கட்டத்தில் இருந்து அணுக்களின் படிக திடப்படுத்தல் ஒரு இடைமுகத்தில் நிகழ்கிறது, விதை படிகம் மற்றும் சிலுவை ஆகியவை இந்த திரும்பப் பெறும் செயல்பாட்டின் போது எதிர் திசைகளில் சுழற்றப்படுகின்றன, இது ஒரு பெரிய ஒற்றை உருவாக்கப்படுகிறது. விதையின் சரியான படிக அமைப்புடன் படிக சிலிக்கான்.
நிலையான CZ இங்காட் இழுப்பிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் காந்தப்புலத்திற்கு நன்றி, காந்த-புலம்-தூண்டப்பட்ட Czochralski MCZ ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த தூய்மையற்ற செறிவு, குறைந்த ஆக்ஸிஜன் அளவு மற்றும் இடப்பெயர்வு மற்றும் உயர் தொழில்நுட்ப மின்னணு கூறுகள் மற்றும் சாதனங்களில் சிறப்பாகச் செயல்படும் சீரான எதிர்ப்பாற்றல் மாறுபாடு. எலக்ட்ரானிக் அல்லது ஃபோட்டோவோல்டாயிக் தொழில்களில் உற்பத்தி.
டெலிவரி
CZ அல்லது MCZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர் n-வகை மற்றும் வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் p-வகை கடத்துத்திறன் 2, 3, 4, 6, 8 மற்றும் 12 அங்குல விட்டம் (50, 75, 100, 125,) அளவில் வழங்கப்படலாம். 150.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்பு
CZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர் அனைத்து வகையான மின்னணு உபகரணங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், டையோட்கள், டிரான்சிஸ்டர்கள், தனித்த கூறுகள், அத்துடன் எபிடாக்சியல் செயலாக்கம், SOI செதில் அடி மூலக்கூறு அல்லது அரை-இன்சுலேடிங் கலவை செதில் உற்பத்தி, குறிப்பாக பெரியது ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்படைப் பொருள் 200மிமீ, 250மிமீ மற்றும் 300மிமீ விட்டம் அதி உயர் ஒருங்கிணைந்த சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு உகந்தது.சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் ஃபோட்டோவோல்டாயிக் தொழிற்துறையால் பெரிய அளவில் சூரிய மின்கலங்களுக்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது கிட்டத்தட்ட சரியான படிக அமைப்பு அதிக ஒளி-மின்சார மாற்ற திறனை அளிக்கிறது.
| இல்லை. | பொருட்களை | நிலையான விவரக்குறிப்பு | |||||
| 1 | அளவு | 2" | 3" | 4" | 6" | 8" | 12" |
| 2 | விட்டம் மிமீ | 50.8± 0.3 | 76.2 ± 0.3 | 100 ± 0.5 | 150 ± 0.5 | 200 ± 0.5 | 300 ± 0.5 |
| 3 | கடத்துத்திறன் | பி அல்லது என் அல்லது அன்-டோப் | |||||
| 4 | நோக்குநிலை | <100>, <110>, <111> | |||||
| 5 | தடிமன் μm | 279, 381, 425, 525, 575, 625, 675, 725 அல்லது தேவைக்கேற்ப | |||||
| 6 | மின்தடை Ω-செ.மீ | ≤0.005, 0.005-1, 1-10, 10-20, 20-100, 100-300 போன்றவை | |||||
| 7 | RRV அதிகபட்சம் | 8%, 10%, 12% | |||||
| 8 | முதன்மை பிளாட்/நீளம் மிமீ | SEMI தரநிலையாக அல்லது தேவைக்கேற்ப | |||||
| 9 | இரண்டாம் நிலை பிளாட்/நீளம் மிமீ | SEMI தரநிலையாக அல்லது தேவைக்கேற்ப | |||||
| 10 | TTV μm அதிகபட்சம் | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 11 | வில் & வார்ப் μm அதிகபட்சம் | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 12 | மேற்பரப்பு முடித்தல் | As-cut, L/L, P/E, P/P | |||||
| 13 | பேக்கிங் | உள்ளே நுரை பெட்டி அல்லது கேசட், வெளியே அட்டைப்பெட்டி. | |||||
| சின்னம் | Si |
| அணு எண் | 14 |
| அணு எடை | 28.09 |
| உறுப்பு வகை | மெட்டாலாய்டு |
| குழு, காலம், தொகுதி | 14, 3, பி |
| படிக அமைப்பு | வைரம் |
| நிறம் | அடர் சாம்பல் நிறம் |
| உருகுநிலை | 1414°C, 1687.15 K |
| கொதிநிலை | 3265°C, 3538.15 K |
| அடர்த்தி 300K | 2.329 கிராம்/செ.மீ3 |
| உள்ளார்ந்த எதிர்ப்பாற்றல் | 3.2E5 Ω-செ.மீ |
| CAS எண் | 7440-21-3 |
| EC எண் | 231-130-8 |
CZ அல்லது MCZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர்வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் n-வகை மற்றும் p-வகை கடத்துத்திறன் 2, 3, 4, 6, 8 மற்றும் 12 அங்குல விட்டம் (50, 75, 100, 125, 150, 200 மற்றும் 300 மிமீ) அளவில் வழங்கப்படலாம். நோக்குநிலை <100>, <110>, <111> நுரைப் பெட்டி அல்லது கேசட்டின் தொகுப்பில் வெட்டப்பட்ட, லேப் செய்யப்பட்ட, பொறிக்கப்பட்ட மற்றும் மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்புப் பூச்சு.
கொள்முதல் குறிப்புகள்
CZ சிலிக்கான் வேஃபர்