Epitaxial (EPI) Silicon Wafer Featured Image

எபிடாக்சியல் (EPI) சிலிக்கான் வேஃபர்

விளக்கம்

எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் வேஃபர்அல்லது EPI சிலிக்கான் வேஃபர் என்பது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியால் ஒரு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறின் பளபளப்பான படிக மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட செமிகண்டக்டிங் கிரிஸ்டல் லேயரின் ஒரு செதில் ஆகும்.எபிடாக்சியல் அடுக்கு என்பது ஒரே மாதிரியான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் அடி மூலக்கூறு போன்ற அதே பொருளாக இருக்கலாம் அல்லது பன்முகத்தன்மை கொண்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியால் குறிப்பிட்ட விரும்பத்தக்க தரம் கொண்ட ஒரு கவர்ச்சியான அடுக்காக இருக்கலாம், இதில் இரசாயன நீராவி படிவு CVD, திரவ நிலை எபிடாக்ஸி LPE, மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை ஆகியவை அடங்கும். குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் நல்ல மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையின் மிக உயர்ந்த தரத்தை அடைய epitaxy MBE.சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வேஃபர்கள் முதன்மையாக மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், உயர் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி கூறுகள் ICகள், தனித்த மற்றும் சக்தி சாதனங்கள், இருமுனை வகை, MOS மற்றும் BiCMOS சாதனங்கள் போன்ற ICக்கான டையோடு மற்றும் டிரான்சிஸ்டர் அல்லது அடி மூலக்கூறுக்கான உறுப்புக்கும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.மேலும், பல அடுக்கு எபிடாக்சியல் மற்றும் தடிமனான ஃபிலிம் EPI சிலிக்கான் செதில்கள் பெரும்பாலும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் ஃபோட்டோவோல்டாயிக்ஸ் பயன்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

டெலிவரி

எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் வேஃபர்ஸ் அல்லது வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் EPI சிலிக்கான் வேஃபர் 4, 5 மற்றும் 6 இன்ச் அளவுகளில் (100mm, 125mm, 150mm விட்டம்), திசை <100>, <111>, எபிலேயர் ரெசிஸ்டிவிட்டி <1ohm -cm அல்லது 150ohm-cm வரை, மற்றும் எபிலேயர் தடிமன்<1um அல்லது 150um வரை, பொறிக்கப்பட்ட அல்லது LTO சிகிச்சையின் மேற்பரப்பின் பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, கேசட்டில் அட்டைப்பெட்டியில் நிரம்பியுள்ளது அல்லது சரியான தீர்வுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட விவரக்குறிப்பு .

இப்போது விசாரணை

விவரங்கள்

குறிச்சொற்கள்

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்பு

எபி சிலிக்கான் வேஃபர்

எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் வேஃபர்ஸ்அல்லது வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் உள்ள EPI சிலிக்கான் வேஃபர் 4, 5 மற்றும் 6 இன்ச் அளவுகளில் (100mm, 125mm, 150mm விட்டம்), நோக்குநிலை <100>, <111>, எபிலேயர் ரெசிஸ்டிவிட்டி <1ohm-cm அல்லது 150ohm-cm வரை, மற்றும் எபிலேயர் தடிமன் <1um அல்லது 150um வரை, பொறிக்கப்பட்ட அல்லது LTO சிகிச்சையின் மேற்பரப்பின் பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, கேசட்டில் பெட்டி பெட்டியில் நிரம்பியுள்ளது அல்லது சரியான தீர்வுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட விவரக்குறிப்பு.

சின்னம்	Si
அணு எண்	14
அணு எடை	28.09
உறுப்பு வகை	மெட்டாலாய்டு
குழு, காலம், தொகுதி	14, 3, பி
படிக அமைப்பு	வைரம்
நிறம்	அடர் சாம்பல் நிறம்
உருகுநிலை	1414°C, 1687.15 K
கொதிநிலை	3265°C, 3538.15 K
அடர்த்தி 300K	2.329 கிராம்/செ.மீ³
உள்ளார்ந்த எதிர்ப்பாற்றல்	3.2E5 Ω-செ.மீ
CAS எண்	7440-21-3
EC எண்	231-130-8

இல்லை.	பொருட்களை	நிலையான விவரக்குறிப்பு
1	பொது பண்புகள்
1-1	அளவு	4"	5"	6"
1-2	விட்டம் மிமீ	100 ± 0.5	125 ± 0.5	150 ± 0.5
1-3	நோக்குநிலை	<100>, <111>	<100>, <111>	<100>, <111>
2	எபிடாக்சியல் அடுக்கு பண்புகள்
2-1	வளர்ச்சி முறை	CVD	CVD	CVD
2-2	கடத்துத்திறன் வகை	P அல்லது P+, N/ அல்லது N+	P அல்லது P+, N/ அல்லது N+	P அல்லது P+, N/ அல்லது N+
2-3	தடிமன் μm	2.5-120	2.5-120	2.5-120
2-4	தடிமன் சீரான தன்மை	≤3%	≤3%	≤3%
2-5	மின்தடை Ω-செ.மீ	0.1-50	0.1-50	0.1-50
2-6	எதிர்ப்புத் தன்மை ஒற்றுமை	≤3%	≤5%	-
2-7	இடப்பெயர்வு செ.மீ-2	<10	<10	<10
2-8	மேற்பரப்பு தரம்	சிப், மூடுபனி அல்லது ஆரஞ்சு தோல் போன்றவை எஞ்சவில்லை.
3	அடி மூலக்கூறு பண்புகளை கையாளவும்
3-1	வளர்ச்சி முறை	CZ	CZ	CZ
3-2	கடத்துத்திறன் வகை	பி/என்	பி/என்	பி/என்
3-3	தடிமன் μm	525-675	525-675	525-675
3-4	தடிமன் சீரான அதிகபட்சம்	3%	3%	3%
3-5	மின்தடை Ω-செ.மீ	தேவைக்கேற்ப	தேவைக்கேற்ப	தேவைக்கேற்ப
3-6	எதிர்ப்புத் தன்மை ஒற்றுமை	5%	5%	5%
3-7	TTV μm அதிகபட்சம்	10	10	10
3-8	வில் μm அதிகபட்சம்	30	30	30
3-9	வார்ப் μm அதிகபட்சம்	30	30	30
3-10	EPD cm-2 அதிகபட்சம்	100	100	100
3-11	எட்ஜ் சுயவிவரம்	வட்டமானது	வட்டமானது	வட்டமானது
3-12	மேற்பரப்பு தரம்	சிப், மூடுபனி அல்லது ஆரஞ்சு தோல் போன்றவை எஞ்சவில்லை.
3-13	பின் பக்க பினிஷ்	பொறிக்கப்பட்ட அல்லது LTO (5000±500Å)
4	பேக்கிங்	உள்ளே கேசட், வெளியே அட்டைப்பெட்டி.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ்முதன்மையாக மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், உயர் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி கூறுகள் IC கள், தனித்த மற்றும் சக்தி சாதனங்கள், இருமுனை வகை, MOS மற்றும் BiCMOS சாதனங்கள் போன்ற IC க்கு டையோடு மற்றும் டிரான்சிஸ்டர் அல்லது அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றிற்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.மேலும், பல அடுக்கு எபிடாக்சியல் மற்றும் தடிமனான ஃபிலிம் EPI சிலிக்கான் செதில்கள் பெரும்பாலும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் ஃபோட்டோவோல்டாயிக்ஸ் பயன்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.