விளக்கம்
FZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர்,Float-zone (FZ) சிலிக்கான் செங்குத்து மிதக்கும் மண்டல சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தால் இழுக்கப்படும் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் கார்பன் அசுத்தங்களின் மிகக் குறைந்த செறிவு கொண்ட மிகவும் தூய சிலிக்கான் ஆகும்.FZ மிதக்கும் மண்டலம் என்பது ஒரு படிக இங்காட் வளரும் முறை ஆகும், இது CZ முறையிலிருந்து வேறுபட்டது, இதில் விதை படிகமானது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இங்காட்டின் கீழ் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் விதை படிகத்திற்கும் பாலிகிரிஸ்டலின் படிக சிலிக்கானுக்கும் இடையிலான எல்லையானது ஒற்றை படிகமயமாக்கலுக்காக RF சுருள் தூண்டல் வெப்பத்தால் உருகப்படுகிறது.RF சுருள் மற்றும் உருகிய மண்டலம் மேல்நோக்கி நகர்கிறது, அதன்படி விதை படிகத்தின் மேல் ஒரு படிகம் திடப்படுத்துகிறது.மிதவை-மண்டல சிலிக்கான் ஒரு சீரான டோபண்ட் விநியோகம், குறைந்த எதிர்ப்புத் திறன் மாறுபாடு, அசுத்தங்களின் அளவைக் கட்டுப்படுத்துதல், கணிசமான கேரியர் வாழ்நாள், அதிக எதிர்ப்புத் திறன் மற்றும் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் ஆகியவற்றுடன் உறுதி செய்யப்படுகிறது.மிதவை-மண்டல சிலிக்கான் என்பது Czochralski CZ செயல்முறையால் வளர்க்கப்படும் படிகங்களுக்கு உயர் தூய்மையான மாற்றாகும்.இந்த முறையின் சிறப்பியல்புகளுடன், டயோட்கள், தைரிஸ்டர்கள், IGBTகள், MEMS, டையோடு, RF சாதனம் மற்றும் பவர் MOSFETகள் அல்லது உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட துகள் அல்லது ஆப்டிகல் டிடெக்டர்களுக்கான அடி மூலக்கூறு போன்ற மின்னணு சாதனங்கள் தயாரிப்பில் FZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் சிறந்தது. , சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் சென்சார்கள், அதிக திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலம் போன்றவை.
டெலிவரி
FZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர் N-வகை மற்றும் வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் P-வகை கடத்துத்திறன் 2, 3, 4, 6 மற்றும் 8 இன்ச் அளவுகளில் (50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm மற்றும் 200mm) வழங்கப்படலாம். நோக்குநிலை <100>, <110>, <111> நுரைப் பெட்டி அல்லது கேசட்டின் பேக்கேஜில் வெளியில் அட்டைப்பெட்டியுடன் வெட்டப்பட்ட, லேப் செய்யப்பட்ட, பொறிக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்புப் பூச்சு.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்பு
FZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர்அல்லது வெஸ்டர்ன் மின்மெட்டல்ஸ் (SC) கார்ப்பரேஷனில் உள்ளார்ந்த, n-வகை மற்றும் p-வகை கடத்துத்திறன் கொண்ட FZ மோனோ-கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் வேஃபர் 2, 3, 4, 6 மற்றும் 8 இன்ச் விட்டத்தில் (50mm, 75mm, 100mm) பல்வேறு அளவுகளில் வழங்கப்படலாம். , 125 மிமீ, 150 மிமீ மற்றும் 200 மிமீ) மற்றும் பரந்த அளவிலான தடிமன் 279um முதல் 2000um வரை <100>, <110>, <111> நோக்குநிலையுடன், வெட்டு, மடிக்கப்பட்டது, பொறிக்கப்பட்ட மற்றும் நுரை பெட்டி அல்லது கேசட்டின் பேக்கேஜில் மெருகூட்டப்பட்டது வெளியே அட்டைப்பெட்டியுடன்.
இல்லை. | பொருட்களை | நிலையான விவரக்குறிப்பு | ||||
1 | அளவு | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" |
2 | விட்டம் மிமீ | 50.8± 0.3 | 76.2 ± 0.3 | 100 ± 0.5 | 125 ± 0.5 | 150 ± 0.5 |
3 | கடத்துத்திறன் | N/P | N/P | N/P | N/P | N/P |
4 | நோக்குநிலை | <100>, <110>, <111> | ||||
5 | தடிமன் μm | 279, 381, 425, 525, 575, 625, 675, 725 அல்லது தேவைக்கேற்ப | ||||
6 | மின்தடை Ω-செ.மீ | 1-3, 3-5, 40-60, 800-1000, 1000-1400 அல்லது தேவைக்கேற்ப | ||||
7 | RRV அதிகபட்சம் | 8%, 10%, 12% | ||||
8 | TTV μm அதிகபட்சம் | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
9 | வில்/வார்ப் μm அதிகபட்சம் | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
10 | மேற்பரப்பு முடித்தல் | As-cut, L/L, P/E, P/P | ||||
11 | பேக்கிங் | உள்ளே நுரை பெட்டி அல்லது கேசட், வெளியே அட்டைப்பெட்டி. |
சின்னம் | Si |
அணு எண் | 14 |
அணு எடை | 28.09 |
உறுப்பு வகை | மெட்டாலாய்டு |
குழு, காலம், தொகுதி | 14, 3, பி |
படிக அமைப்பு | வைரம் |
நிறம் | அடர் சாம்பல் நிறம் |
உருகுநிலை | 1414°C, 1687.15 K |
கொதிநிலை | 3265°C, 3538.15 K |
அடர்த்தி 300K | 2.329 கிராம்/செ.மீ3 |
உள்ளார்ந்த எதிர்ப்பாற்றல் | 3.2E5 Ω-செ.மீ |
CAS எண் | 7440-21-3 |
EC எண் | 231-130-8 |
FZ சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான், Float-zone (FZ) முறையின் முக்கிய பண்புகளுடன், டையோட்கள், தைரிஸ்டர்கள், IGBTகள், MEMS, டையோடு, RF சாதனம் மற்றும் பவர் MOSFETகள் அல்லது உயர் தெளிவுத்திறனுக்கான அடி மூலக்கூறு போன்ற எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் தயாரிப்பில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக உள்ளது. துகள் அல்லது ஆப்டிகல் டிடெக்டர்கள், சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் சென்சார்கள், அதிக திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலம் போன்றவை.
கொள்முதல் குறிப்புகள்
FZ சிலிக்கான் வேஃபர்